EPSON晶振國際知名頻率元件制造商,自發(fā)展成立以來一直不斷推出高性能晶振產(chǎn)品,以滿足市場發(fā)展.愛普生晶振除了在晶體行業(yè)享有盛名,在打印機,傳感器等方面也做的非常出色.億金電子深圳愛普生晶振代理商下面對EPSON晶振之HFF晶體單元/HFF晶體振蕩器技術(shù)講解.

HFF晶體單元/HFF晶體振蕩器

石英芯片的厚度越薄,石英晶體單元就能在越高頻率下振蕩.但使用機械加工使厚度變薄存在局限性.

石英芯片的厚度與頻率的關(guān)系

使用光刻加工,通過只將晶體芯片的激勵部加工成數(shù)微米的極薄的構(gòu)造（反向臺構(gòu)造）,可以在保持石英晶振芯片的強度的同時,將高頻中的基波振蕩變?yōu)榭赡?

各行業(yè)的巨頭都在為自家研發(fā)設(shè)計專屬產(chǎn)品,滿足市場需求的同時以鞏固自身地位,就像石英晶體行業(yè),表面上風(fēng)平浪靜,實際上早已波濤洶涌.不管是日本進口晶振品牌還是歐美進口晶振品牌都在為更高端智能市場研發(fā)新型晶振產(chǎn)品.

像日本精工晶振在2018年就推出了新型SH-32S晶振（32.768K）,此款時鐘晶振延續(xù)3215封裝,采用4腳焊接模式,滿足不同產(chǎn)品領(lǐng)域需求,具有小體積,高精度,低損耗等特點.

日本愛普生晶振2018年2月20日發(fā)布了85MHZ~170MHZ頻率范圍的耐高溫VG7050CDN晶體振蕩器,工作溫度可達-40℃~+105℃,具有CMOS輸出,高頻,高溫度特性,滿足高端產(chǎn)品對于惡劣環(huán)境的要求.

國內(nèi)選擇進口晶振品牌越來越多,除了我們所熟悉的KDS晶振,精工愛普生晶振,新西蘭瑞康晶振,美國CTS晶振,美國IDT晶振等品牌,像日本NAKA晶振,韓國SUNNY晶振,韓國LiHom晶振一些之前被我們所忽略掉的晶振品牌也越來越多的走進我們的視野,更多的歐美品牌進入國內(nèi)市場.

億金電子是國內(nèi)數(shù)一數(shù)二的晶振供貨商,十幾年來不斷為用戶推薦并提供高效的晶振產(chǎn)品,同時代理多家進口晶振品牌,以滿足各領(lǐng)域客戶的產(chǎn)品需求.下面要給大家所介紹的就是韓國知名頻率元件制造商LiHom晶振,有關(guān)韓國LiHom晶振集團的簡單介紹歡迎點評.

Lihom晶振成立于1976年,注冊資為1000萬美元,隨后在1986年成立水晶事業(yè)部,專為研發(fā)生產(chǎn)石英晶體振蕩器,壓電水晶振蕩子,貼片晶振,石英晶體諧振器,VCXO振蕩器,TCXO振蕩器等頻率元件.多年來,Lihom晶振一直不斷發(fā)展壯大,先后在韓國首爾,韓國金浦,中國東莞,青島等地建立工廠,致力于研發(fā)生產(chǎn)石英晶振產(chǎn)品,并且獲得ISO-14000環(huán)境認證體系,以及ISO/TS16949等質(zhì)量體系認證.韓國Lihom晶振被廣泛用于網(wǎng)絡(luò),通訊,數(shù)碼,航空,安防,智能家電,汽車系統(tǒng)等領(lǐng)域,具有高可靠,高性能,高精密,低損耗,低抖動,低相位噪音等特點.

Transko晶振均采用無鉛無害環(huán)保材料生產(chǎn),符合歐盟ROHS環(huán)保要求.Transko石英晶體諧振器滿足市場需求,提供各種封裝尺寸,包括插件晶振（DIP）和貼片晶振（SMD）.Transko晶振具有小體積,高精度,低損耗,高品質(zhì),抗振性強,耐高溫等特點.

億金電子為大家整理了美國Transko石英晶體諧振器型號一覽表,貼片晶振從小體積到大體積包括1210晶振,1612,2016,2520,3225,4025,5032,6035,7050,8045,12.5x4.6mm均為市場常用尺寸.

32.768K貼片晶振系列包括1610,2012,3215,4115,4918,7015,8037,插件32.768K晶振系列包括2x6,3x8,3x9,1x5,歡迎廣大用戶收藏選用.

精工SH-32S晶振延續(xù)了SC-32S晶振的尺寸,3.2x1.5mm體積,不過采用的是4腳焊接模式.可使用高速自動貼片機焊接,大大的節(jié)省了人力物力.SH-32S石英晶體振蕩器工作溫度-40℃~85℃,儲存溫度在-55℃~125℃范圍,具有出色的頻率精度和溫度特性.

SH-32S晶振運用獨特的光刻技術(shù),先進的生產(chǎn)技術(shù),具有高品質(zhì),高可靠性.可供1.3V~5.5V電源電壓,具有低電壓,低功耗等特點.起振時間快速達0.5Max,所生產(chǎn)材料均符合無鉛無害要求.

如今智能汽車很多,為了實現(xiàn)智能化,安全性,更高級別的車載石英晶振創(chuàng)造汽車功能安全性是新一代汽車追求的首要.那么車載晶振應(yīng)該具備哪些優(yōu)勢特點呢？車載晶振首先在工作溫度方面需達到-40℃~150℃車規(guī)級要求,需具備低電源電壓,高精密,低抖動,低功耗等特點.

隨著科技的發(fā)展,要求智能產(chǎn)品更高性能,因此用到的電子元件自然也會增加,這對于電路空間來說會比較緊張,于是要求產(chǎn)品小型化,比如晶振元件,貼片晶振從大體積8045,7050,6035到現(xiàn)在的超薄超小3225,2520,2016,1612體積一直在該小.不僅減少了電路空間的占用,并且提高了產(chǎn)品的使用性能,具有高質(zhì)量,高精密等特點.

?？怂笷TM系列OCXO有源晶振精度穩(wěn)定控制在±10PPM,頻率可供范圍5MHZ~40MHZ選擇,溫度范圍-40℃~85℃,具有高品質(zhì),性能穩(wěn)定等.FTM也有一個頻率控制引腳,允許最小值±0.7ppm的頻率調(diào)整.?？怂咕д?/a>,石英晶體振蕩器電源電壓范圍3.3V~5V,輸出負荷一般為15PF,老化率10年僅0.4值.具有高可靠使用特性.

FOX貼片晶振,SMD晶振,晶體振蕩器采用編帶盤裝,可用于任何自動化生產(chǎn)線,節(jié)省了時間,更有效的節(jié)省了人力物力資源.福克斯OCXO石英晶體振蕩器重量輕,僅有5.7g.億金電子代理?？怂咕д?更多規(guī)格型號以及技術(shù)資料歡迎咨詢0755-27876565.

   臺灣TXC晶振耳熟能詳,電子行業(yè)的人都知道,臺灣數(shù)一數(shù)二的頻率元件生產(chǎn)制造商,主要生產(chǎn)石英晶振,貼片晶振,有源晶振,石英晶體諧振器等.TXC晶振自成立以來發(fā)展至今快有40多年了,至始至終以服務(wù)客戶,以質(zhì)量,以交期為第一的發(fā)展理念.

   TXC晶振擁有先進的技術(shù),高端儀器設(shè)備,訓(xùn)練有素的精英團隊,超前的創(chuàng)新思維,TXC晶振發(fā)展至今在國內(nèi)外,臺灣,香港,蘇州,泰國,馬來西亞,深圳,重慶等地設(shè)有研發(fā)生產(chǎn)基地,銷售辦事處遍布世界各地.

調(diào)節(jié)激光器的電流和激光掃描時間到適當(dāng)?shù)闹?/span>,是可以實現(xiàn)對石英晶振,貼片晶振進行頻率微調(diào)的。雖然實驗中微調(diào)的量最小也是kHz數(shù)量級,但從兩組數(shù)據(jù)中可以看出只要電流和掃描時間調(diào)節(jié)的得當(dāng),進行幾Hz~幾百Hz數(shù)量級的頻率微調(diào)也是可行的,亦即實現(xiàn)晶振ppm級的頻率精度。

其次,從實現(xiàn)數(shù)據(jù)中可以看出頻率微調(diào)量在掃描時間固定的情況下,并不是與激光電流完全成正比;而在激光電流固定的情況下,也不是與掃描時間完全成正比的。這一方面可能與表面銀層對于激光的反射作用有關(guān),大量的激光束被銀層反射回去,沒能用于對表面電極層進行氣化,只有通過加大激光電流的辦法來加強對表面的轟擊。但這樣一來很容易造成頻率微調(diào)量過大,超出了想要的頻率微調(diào)數(shù)量級的現(xiàn)象。

另一方面可能與整個石英晶振激光頻率微調(diào)實驗進行的環(huán)境有關(guān)。整個激光頻率微調(diào)實驗完全在大氣環(huán)境下進行,受激光掃描而氣化的分子受大氣中的分子顆粒的散射作用,重新返回晶振晶片表面,堆積在表面其他地方。這樣實際上晶振晶片的質(zhì)量并沒有減小,由 Sauerbrey方程:

可知質(zhì)量沒有改變就不會對石英晶振頻率產(chǎn)生微調(diào),因而網(wǎng)絡(luò)分析儀就測量不出頻率的變化。這樣實驗時就會繼續(xù)加大激光電流或是增加激光照射或掃描時間。而這樣是不對的。因為實際上氣化過程在頻率真正得到改變前就已經(jīng)發(fā)生了,只是石英晶振晶片總質(zhì)量沒有改變從而不會對頻率產(chǎn)生影響。當(dāng)增強后的激光照射在晶片表面時,有可能電流過大,穿透表面銀層,產(chǎn)生與圖3.5類似的情形,造成實驗失敗。

此外,從實現(xiàn)數(shù)據(jù)可以看出,激光掃描電流和激光掃描時間兩個參數(shù)并不是獨立作用的,并不是增加或減少其中的一個就可以直接影響晶振頻率微調(diào)量的。因而需要兩個參數(shù)相互配合,在實驗的基礎(chǔ)上達到一個最佳平衡點。

從實驗中可以推斷,除了激光掃描電流和激光掃描時間兩個參數(shù)外,還有其它的參數(shù)影響著實驗結(jié)果。如:氣壓,氣溫,甚至激光掃描路徑。因而需要大量、反復(fù)的實驗來找出這些關(guān)系,進而找到實現(xiàn)精確石英頻率微調(diào)的最佳方案。

運用不同的工藝方法,對石英晶振進行頻率微調(diào),以不同參數(shù)的激光產(chǎn)生不同的微調(diào)量和微調(diào)效果。通過拍攝SEM照片,來研究在不同的激光參數(shù)和條件下,激光對于石英晶振表面及內(nèi)部的改變和損傷情況。共分五種情況對激光刻蝕損傷進行研究。

1.直接刻蝕石英晶振片表面。

2.以大電流刻蝕石英晶振表面銀電極層,使其產(chǎn)生肉眼可見的大面積刻蝕痕跡,至使頻率計無法讀出刻蝕后的頻率值。

3.以適當(dāng)?shù)募す鈪?shù)刻蝕石英晶振表面銀電極層,并無明顯的刻蝕痕跡,頻率微調(diào)量在50ppm,其他電性能參數(shù)改變量均小。

4.以刻蝕圖形的方法對石英晶振表面銀電極層進行刻蝕,刻蝕圖形為銀電極層外層圓環(huán),頻率微調(diào)量達l000pm。

5.以刻蝕圖形的方法對石英晶振表面銀電極層進行刻蝕,刻蝕圖形為銀電極層半邊圓,頻率微調(diào)量達2300ppm。

以下為石英晶振實驗結(jié)果分析

1.直接刻蝕石英晶振片表面

在電流為11A,激光頻率為10KHLz,Q脈沖寬度為10s的條件下,直接對石英晶振片進行環(huán)狀刻蝕。刻蝕示意圖如圖4.7所示。

圖中虛線所示為激光刻蝕的軌跡,可見激光全部作用在石英晶振片本身,而不是其表面的銀電極層上。經(jīng)刻蝕,貼片晶振,石英晶振片的頻率從10.0268376MHz,上升為10.0268780MHz,頻率微調(diào)量為404pm。這樣做的目的,是為了觀察當(dāng)激光直接作用于晶片本身的時候,會對晶片產(chǎn)生怎樣的影響。

通過電鏡觀察,刻蝕后的石英晶振片斷面如圖4.8所示。

從圖中可見,被激光刻蝕后的區(qū)域,石英片表面平整,形貌良好,并未對下面石英晶體產(chǎn)生損傷。部分晶體被激光刻蝕掉后由于大氣中分子的散射作用,重新落回到晶片表面,覆蓋在原晶片上。

2.以大電流刻蝕貼片晶振,石英晶振表面銀電極層,使其產(chǎn)生肉眼可見的大面積刻蝕痕跡,至使頻率計無法讀出刻蝕后的頻率值。

在電流為14A,激光頻率為10KHz,Q脈沖寬度為10ys的條件下,對石英晶振片表面銀電極層進行刻蝕?？涛g圖形及示意圖分別如圖4.9、4.10所示。

在14A的激光電流刻蝕下,晶片表面刻蝕區(qū)域的電極層被損壞,出現(xiàn)了肉眼可見的較大范圍內(nèi)明顯剝落痕跡。至使頻率計無法讀出其諧振頻率,石英晶片停振。

通過電鏡觀察,刻蝕后的石英晶振片斷面如圖4.11所示。

如圖所示,圖中左半邊銀電極層清晰可見,均勻的覆蓋在石英表面。而右半邊銀電極層被激光刻蝕剝落,被剝落處銀電極層與貼片晶振,石英晶振混在一起,界線模糊。并且剝落已經(jīng)損傷到石英晶振本身。損傷延伸至2000m深度。

石英晶體諧振器是利用石英晶體的壓電效應(yīng)制成的一種諧振器件,其基本結(jié)構(gòu)為:從一塊石英晶體上按一定方位角切下薄片(簡稱為晶片,它可以是正方形、矩形或圓形等),在它的兩個對應(yīng)面上涂敷銀層作為電極,在每個電極上各焊根引線接到管腳上,再加上封裝外殼就構(gòu)成了石英晶體振蕩器,簡稱為石英晶體或晶體、晶振。其產(chǎn)品一般用金屬外殼封裝,也有用玻璃殼、陶瓷或塑料封裝的。圖2.1是石英晶振結(jié)構(gòu)圖。圖22是一種金屬外殼封裝的石英晶體結(jié)構(gòu)示意圖。

石英晶振晶體的壓電效應(yīng)

若在石英晶體的兩個電極上加一電場,晶片就會產(chǎn)生機械變形。反之,若在晶振晶片的兩側(cè)施加機械壓力,則在晶片相應(yīng)的方向上將產(chǎn)生電場,這種物理現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。如果在晶片的兩極上加交變電壓,晶片就會產(chǎn)生機械振動,同時石英晶振晶片的機械振動又會產(chǎn)生交變電場。在一般情況下,晶振晶片機械振動的振幅和交變電場的振幅非常微小,但當(dāng)外加交變電壓的頻率為某一特定值時,振幅明顯加大,比其他頻率下的振幅大得多,這種現(xiàn)象稱為壓電諧振,它與LC回路的諧振現(xiàn)象十分相似。它的諧振頻率與晶片的切割方向、幾何形狀、尺寸等有關(guān)。

石英晶振晶體的符號和等效電路

石英晶體諧振器的符號和等效電路如圖23所示。當(dāng)晶體不振動時,可把它看成一個平板電容器稱為靜電電容C,它的大小與晶片的幾何尺寸、電極面積有關(guān),一般約幾個pF到幾十pF。當(dāng)石英晶體諧振時,機械振動的慣性可用電感L來等效。一般L的值為幾十mH到幾百mH.晶振晶片的彈性可用電容C來等效,C的很小,一般只有0.0002~0.lpF。

晶振晶片振動時因摩擦而造成的損耗用R來等效, 它的數(shù)值約為100g。由于晶片的等效電感很大,而C很小,R也小,因此回路的品質(zhì)因數(shù)Q很大,可達1000~10000。加上晶振晶片本身的諧振頻率基本上只與晶片的切割方向、幾何形狀、尺寸有關(guān),而且可以做得精確,因此利用石英晶體諧振器組成的諧振電路可獲得很高的頻率穩(wěn)定度。

根據(jù)前面介紹的關(guān)于晶振片的由來以及晶振原理,毫無疑問,石英晶振片是比較敏感的電子組件。用作鍍膜的時候晶振片可以測量到膜厚0.000000000001克重的變化,這相當(dāng)于1原子(atom)膜厚,而且,晶振片對溫度也很敏感, 對1/100攝氏溫度的變化也能感知。

另外,石英晶振片對應(yīng)力的敏感也很大,在一些特別的鍍膜過程中可以感知已鍍膜的石英晶振片冷卻后膜層原子的變化。例如常用MgF2增透膜,300度時膜硬度是平時的2倍,冷卻時產(chǎn)生巨大的應(yīng)力, 隨著鍍膜規(guī)格指標的需求日益嚴格,石英晶振控制成為鍍膜必備的輔助或控制方法,如何正確有效地使用晶振片成為保證鍍膜質(zhì)量的重點。所以為了使晶振片壽命最長,下面一些方法和技巧供您參考：

1.安裝鏡片時,用塑料攝子來挾住晶振片的邊緣,不要碰晶振片中心,任何灰層,油污都會降低晶振片的振動能力。

2.保持探頭的清潔。不要讓鍍膜材料的粉末和碎片接觸探頭的前后中心位置。任何石英晶體和夾具之間的顆粒或灰層將影響電子接觸,而且會產(chǎn)生應(yīng)力點,從而改變石英晶體振動的模式。

3.維持探頭的冷卻水溫度在20~40°C之間。如果可以將溫度誤差保持在1-2℃范圍內(nèi),效果更佳。

4選擇晶振片時,要選擇表面光滑、顏色較為統(tǒng)一晶振片, 表面有劃傷或贓物的不可以使用;

5.分離晶振傳感器時,注意上半部分的鍍金彈簧片不能弄臟變形,更不可斷裂;保證每一個彈簧的三個腳的高度和彎曲度(60度)都相等;放置時應(yīng)將鍍金彈簧片朝上平放在工作臺上,嚴禁反放。取出石英晶振片時要小心,不可使其滑動或掉落,使之劃傷或破裂。(整個過程必須戴乳膠手套,避免手指上贓物接觸其上)。

6.鍍膜時注意觀察蒸發(fā)速率的變化情況,速率曲線出現(xiàn)異常波動之后要能準確判定是否晶振片出現(xiàn)故障,并決定是否切換：

石英晶振片要不要換主要看以下幾方面：

蒸發(fā)速率出現(xiàn)明顯異常,速率持續(xù)波動;

晶振片的表面明顯出現(xiàn)膜脫落或起皮的現(xiàn)象

7.石英晶振片的回收利用用過的晶振片可以重新利用,主要方法有兩種：

（1)徹底除去石英晶體諧振器,貼片晶振,石英晶振片上的膜層和電極,重新郵回廠家鍍上電極。

（2)利用金電極不溶于硫酸等強酸的特點,客戶自行處理,將晶振片上的膜層除去,重新利用。

但使用再處理石英晶振片時注意以下事項

（1)銀鋁合金溶于各種酸,不適合再處理。

（2)酸祛除晶振片膜層時,必然對基底或外觀有一定影響,初始頻率也會改變,放入晶控儀中會發(fā)現(xiàn)初始讀數(shù)改變或顯示壽命降低,這些不會影響石英晶振片的基本功能,但晶振片的壽命會大大降低。

振片清洗配方:20%氟化氫銨水溶液,浸泡6小時以上,浸泡后投入酒精擦拭,去水即可。

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石英貼片晶振在安防系統(tǒng)中的作用至關(guān)重要.比如上面我們所提到的感應(yīng)卡門禁內(nèi)部就有用到圓柱晶振32.768K系列,這里大多客戶會選擇5PPM,10PPM高精度晶振,比如VT-200-F精工晶體,C-002RX愛普生晶振等2x6mm都是客戶優(yōu)先選擇的對象.

安防系統(tǒng)中的視頻監(jiān)控用到比較多的就是32.768K貼片晶振,這里根據(jù)種類可選擇3215晶振封裝,4115晶振封裝,7015晶振封裝,常見型號比如SC-32S晶振,MC-146晶振,SSP-T7晶振,DST310S晶振,MC415晶振等等.MHZ晶振系列常用封裝有3225貼片晶振,2520貼片晶振等,16M石英晶振,26M石英晶振等頻率是較為常用的,在監(jiān)控攝像中起到存儲作用,小小的體積滿足網(wǎng)絡(luò)攝像對于小型化的要求,具有精度穩(wěn)定,低功耗,高可靠使用特性等優(yōu)勢.

關(guān)于智能家居中用到的晶振有興趣可以到億金新聞動態(tài)中查看,在前面的文章中我們有提到過關(guān)于貼片晶振的用途以及智能家居中用哪些石英貼片晶振.更有晶振選型,晶振原廠代碼等資料信息免費提供下載.

億金電子專業(yè)生產(chǎn)銷售石英晶振,貼片晶振,32.768K,聲表面濾波器,石英晶體振蕩器等產(chǎn)品,發(fā)展多年來擁有先進的工藝,精湛的技術(shù)以及現(xiàn)代化的管理手段使得我們在激烈的競爭市場中站穩(wěn)腳跟.先進的生產(chǎn)設(shè)備,一流的技術(shù),優(yōu)秀的銷售精英團隊是我們對您最有力的保障.億金電子代理進口晶振品牌,包括臺產(chǎn)晶振,歐美進口晶振,日系晶振品牌,比如NDK晶振,KDS晶振,EPSON晶振,精工晶體,西鐵城晶振,IDT有源晶振,TCX晶振,京瓷晶振石英晶振,泰藝晶振,鴻星晶振,CTS晶振貼片晶振,瑞士微晶晶振,Jauch晶振等等.

晶振是種控制頻率元件，在電路模塊中提供頻率脈沖信號源，在信號源傳輸?shù)倪^程中石英晶振在電路配合下發(fā)出指令，通過與其他元件配合使用。簡單點來說就是晶振的作用是給電路提供一定頻率的穩(wěn)定的震蕩（脈沖）信號，比如石英鐘，就是通過對脈沖記數(shù)來走時的.

業(yè)內(nèi)人士都知道晶振的生產(chǎn)制造是經(jīng)過了一道道工序嚴謹?shù)牟僮?經(jīng)過反復(fù)檢測最終才成為一顆合格的晶振產(chǎn)品.今天億金電子要給大家說的是生產(chǎn)制造石英晶振要如何選擇優(yōu)異的晶片?

晶振片的電極對膜厚監(jiān)控、速率控制至關(guān)重要。目前,市場上提供三種標準電極材料:金、銀和合金。

金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性,易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料,如金,銀,銅的膜厚控制。用鍍金晶振芯片監(jiān)控以上產(chǎn)品,即使頻率飄移IMHz,也沒有負作用。然而,金電極不易彎曲,會將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會使晶振片跳頻和嚴重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。

銀是接近完美的電極材料,有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而,銀容易硫化,硫化后的銀接觸電阻高,降低晶振片上膜層的牢固性。

銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料,適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控,如siO，SiO2,MgF2,TiO2。這些高應(yīng)力膜層,由于高張力或堆積的引]力,經(jīng)常會使晶振片有不穩(wěn)定,高應(yīng)力會使基片變形而導(dǎo)致跳頻。這些高應(yīng)力膜層,由于高張力或堆積的引力,經(jīng)常會使晶振片有不穩(wěn)定,高應(yīng)力會使基片變形而導(dǎo)致跳頻。銀鋁合金通過塑變或流變分散應(yīng)力,在張力或應(yīng)力使基體變形前,銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這使銀鋁合金晶振片具有更長時間,更穩(wěn)定的振動。有實驗表明鍍Si02用銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長400%。

鍍膜科技日新月異,對于鍍膜工程師來說,如何根據(jù)不同的鍍膜工藝選擇最佳的晶振片確實不易。下面建議供大家參考

（1)鍍低應(yīng)力膜料時,選擇鍍金晶振片

最常見的鍍膜是鍍A、Au、Ag、Cu,這些膜層幾乎沒有應(yīng)力,在室溫下鍍膜即可膜層較軟,易劃傷,但不會裂開或?qū)桩a(chǎn)生負作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,經(jīng)驗證明,可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。

（2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜層

NiCr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應(yīng)力,膜層容易從石英晶體基片上剝落或裂開,以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負變動。有時,這些情況可以容忍,但在一些情況下,會對蒸發(fā)源的功率控制有不良作用。

（3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜

MgF2、SiO2、A2O3、TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性,被廣泛用于光學(xué)鍍膜,但這些膜料也是最難監(jiān)控的,只有基底溫度大于200度時,這些膜層才會與基底有非常良好的結(jié)合力,所以當(dāng)這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結(jié)過程會產(chǎn)生巨大的應(yīng)力,容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就會失效。