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- [技術(shù)支持]銀電極層對石英晶振諧振頻率產(chǎn)生的影響2018年03月13日 09:08
從石英晶體諧振器的等效電路可知,它有兩個諧振頻率,即(1)當(dāng)L、C R支路發(fā)生串聯(lián)諧振時,石英晶體諧振器的等效阻抗最小(等于R)。串聯(lián)揩振頻率用fs表示,石英晶體對于串聯(lián)揩振頻率fs呈純阻性;(2)當(dāng)頻率高于fs時,L、C、R支路呈感性,可與電容C0發(fā)生并聯(lián)諧振,其并聯(lián)頻率用fd表示。工程技術(shù)中石英諧振器就工作在fs到fd范圍內(nèi)或這兩個頻率的奇次諧頻上。
根據(jù)石英晶振的等效電路,可定性畫出它的電抗一頻率特性曲線如圖2.3所示?？梢姰?dāng)頻率低于串聯(lián)諧振頻率fs或者頻率高于并聯(lián)揩振頻率fd時,石英晶體呈容性。僅在fs
Sauerbrey方程用于描述石英晶體諧振頻率與晶體表面附著物質(zhì)(此處為上、下兩面的銀電極層)之間的變化關(guān)系,該方程如下:
其中f0為石英晶振原始諧振頻率(單位為Hz),△f為晶振的頻率變化量(單位為Hz),△m為晶體變化的質(zhì)量(單位為gcm-2),A是晶體有效面積(即電極面積,單位為cm2),pμ是石英晶體的密度,μφ為晶體剪切彈性模量。
對于指定晶振晶片,fo、A、pμ、qμ均為常數(shù),因而, △f與△m的絕對值成正比,負(fù)號表示表面銀電極層質(zhì)量的增加,會引起石英晶振諧振頻率的減少;而表面銀電極層質(zhì)量的減少,會引起石英晶振諧振頻率的增加。即:增加銀層質(zhì)量和減少銀層質(zhì)量兩種方法都可以改變石英晶振的諧振頻率。
可見,附加的銀電極層會對石英晶振器的諧振頻率產(chǎn)生影響。因而工業(yè)生產(chǎn)中,一般先制作出與目標(biāo)頻率接近的石英晶片并附加表面電極,再通過改變表面電極厚度方法,來微調(diào)晶振頻率以達到目標(biāo)頻率。
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