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- [行業(yè)新聞]美國ILSI硅MEMS振蕩器的彈性和可靠性2018年05月03日 09:46
- 硅MEMS振蕩器與石英晶振,石英晶體振蕩器相比具有一些固有的優(yōu)勢,可以使它們在各種環(huán)境中可靠地工作.ILSI MMD開發(fā)了MEMSFirstTM工藝,其中諧振器完全封裝在硅中并封裝在微型真空室內(nèi).非常小的諧振器質(zhì)量和剛性硅晶體結(jié)構(gòu)的組合使其具有耐用性,并且非常耐外部應(yīng)力,如沖擊和振動.此外,振蕩器中優(yōu)化設(shè)計的模擬電路可在電噪聲條件下提供高性能.
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