聲表面濾波器最早是由瑞利勛爵于1885年描述的.沿著表面?zhèn)鞑ゲ⒃?-3個(gè)波長(zhǎng)的距離內(nèi)穿透深度,這種類(lèi)型的波在地震中具有最大的破壞性.用于處理無(wú)線(xiàn)電信號(hào)的表面活性劑的調(diào)查始于戰(zhàn)后年代,但直到1970年代末,SAW聲表面濾波器器件才專(zhuān)門(mén)用于軍事裝備:雷達(dá),空間通信系統(tǒng).20世紀(jì)80年代無(wú)線(xiàn)電話(huà)的高適應(yīng)性和快速發(fā)展為這些設(shè)備在民用應(yīng)用中提供了廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域.
在最簡(jiǎn)單的應(yīng)用中,一個(gè)橫向聲表面波濾波器由兩個(gè)傳感器組成,這些傳感器在壓電基片表面上有導(dǎo)電電極的反向格柵,例如單晶石英或鈮酸鋰(圖1).
其中一個(gè)轉(zhuǎn)換器激勵(lì),另一個(gè)接受瑞利波.如果將信號(hào)作為delta函數(shù)發(fā)送給發(fā)送轉(zhuǎn)換器,則濾波器的脈沖響應(yīng) 將是兩個(gè)換能器的本地脈沖響應(yīng)的卷積.相鄰電極之間的距離是瑞利波長(zhǎng)度的一半.這種波的速度比光速小五個(gè)數(shù)量級(jí).因此,變得清楚的是,可以在小的襯底上再現(xiàn)數(shù)百或數(shù)千個(gè)所需的無(wú)線(xiàn)電脈沖周期.
SAW濾波器設(shè)計(jì)基礎(chǔ)
現(xiàn)在假設(shè)你想創(chuàng)建一個(gè)矩形頻率響應(yīng)的濾波器,如圖2a所示.
與該特性相對(duì)應(yīng)的脈沖響應(yīng)如圖3所示.2B.如果我們根據(jù)這個(gè)脈沖響應(yīng)重現(xiàn)轉(zhuǎn)換器的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),我們可以預(yù)期在與填充周期相對(duì)應(yīng)的中心頻率處的這種聲表面濾波器將具有接近給定周期的頻率響應(yīng)(圖2c).當(dāng)然,更復(fù)雜的方法用于設(shè)計(jì)低損耗濾波器和諧振器.