MEMS諧振器的氣密密封效果如何?

SiTime的EpiSeal?工藝是實現(xiàn)極其穩(wěn)定的MEMS諧振器的關(guān)鍵因素之一,它在晶圓加工過程中密封了諧振器,無需密封陶瓷封裝.SiTime的EpiSeal諧振器不受大氣中最高濃度元素,氮和氧的影響,因此可作為完美密封.前幾代EpiSeal諧振器可能受到大量小分子氣體的影響.較新的EpiSeal諧振器不受所有小分子氣體的影響.

關(guān)于SiTime

SiTime公司是MEMS計時的市場領(lǐng)導(dǎo)者,也是MegaChips公司（東京證券交易所：6875）的全資子公司,提供基于MEMS的硅計時系統(tǒng)解決方案.Sitime Crystal的可配置解決方案提供豐富的功能集,使客戶能夠以高性能,小尺寸,低功耗和高可靠性使其產(chǎn)品與眾不同.通過使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝和大批量封裝,SiTime可縮短交付周期,并可滿足不可預(yù)測的需求.更多Sitime晶振的資料信息歡迎咨詢億金電子Sitime代理商,咨詢熱線0755-27876565.